Акустооптический спектрометр "Микрохрон-5"

Акустооптический спектрометр c электронной перестройкой "МИКРОХРОН-5" предназначен для эмиссионных актинометрических измерений концентрации активных частиц в плазмохимических процессах.

Прибор позволяет оптимизировать технологические процессы, применяемые в производстве сверхбольших интегральных схем (СБИС) и нанесении сверхпрочных покрытий, а также увеличить эффективность использования дорогостоящего плазмохимического оборудования и добиться существенной экономии энергоресурсов и галогеносодержащих газов.

Прямые актинометрические измерения концентрации химически активных частиц, осуществляемые с помощью предлагаемого акустооптического спектрометра, позволяют многократно сократить затраты на стадиях разработки и оптимизации плазмохимического процесса.

Контроль динамики концентрации радикалов, осуществляемый в ходе процесса, практически исключает появление брака.

Прибор позволяет также реализовать модифицированный вариант оптической эмиссионной актинометрии - актинометрию с временным разрешением (АВР) для измерения кинетических кривых накопления активных частиц при импульсном зажигании разряда и их гибели после выключения (в паузе).

Таким образом, можно исследовать кинетику объемных и поверхностных процессов, протекающих в плазмохимических реакторах. При этом используется оригинальная методика измерения импульсных микрохронограмм, в которой решетка коротких зондирующих импульсов "подсвечивает" спадающую концентрацию активных частиц в паузе послесвечения.

В основу принципа действия акустооптического спектрометра "МИКРОХРОН-5" положены принципиально большие скорости электронной перестройки измеряемых длин волн (более 3000 нм/с), высокое спектральное разрешение (1.0...0.5 нм) и светосила.

Программное обеспечение позволяет в режиме актинометрии осуществлять текущий контроль относительной концентрации до 7 компонент при использовании одного актинометра. Реализация метода АВР позволяет исследовать кинетику плазмохимических процессов с получением констант скоростей образования и гетерогенной гибели активных частиц.

Таким образом, прибор "МИКРОХРОН-5", в отличие от традиционной аппаратуры спектрального анализа, делает реализацию метода АВР легким и быстрым процессом.