Акустооптический Спектрометр «АОС-МП»

Акустооптический спектрометр c электронной перестройкой АОС-МП предназначен для эмиссионных актинометрических измерений концентрации активных частиц в плазмохимических процессах, а также для определения момента окончания процесса травления.

Прибор позволяет оптимизировать технологические процессы, применяемые в производстве СБИС и нанесении сверхпрочных покрытий.

Прямые актинометрические измерения концентрации химически активных частиц, осуществляемые с помощью предлагаемого акустооптического спектрометра, позволяют многократно сократить затраты на стадиях разработки и оптимизации плазмохимического процесса.

Для реализации актинометрического контроля относительной концентрации активных частиц требуется параллельный контроль минимум четырех спектральных каналов. При этом на получение одного отсчета затрачивается от 1 до 4 мс. Это дает возможность контролировать динамику реально протекающих плазмохимических процессов.

Акустооптический спектрометр «АОС-МП» зарегистрирован в государственном реестре СИ.