. Технологический контроль в микроэлектронике
Технологический контроль в микроэлектронике

Предлагаются приборы для эмиссионных актинометрических измерений концентрации активных частиц в плазмохимических процессах.

Приборы отличаются высоким быстродействием, высоким спектральным разрешением, а также позволяют оптимизировать технологические процессы в микро- и наноэлектронике, при нанесении сверхпрочных покрытий.

1 Акустооптический спектрометр "МИКРОХРОН-5"
2 Акустооптический спектрометр «АОС-МП»